熱式氣體質量流量計通過測量氣體流經流量計內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。

優點：

1.熱式氣體質量流量計可測量低流速(氣體0.02~2m/s)微小流量；浸入式熱式質量流量計可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式熱式氣體質量流量計更適合于大管徑。

2.熱式氣體質量流量計無活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很小。

3.熱式氣體質量流量計使用性能相對可靠。與推導式質量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現故障概率小。

缺點：

1.熱式氣體質量流量計響應慢。

2.被測量氣體組分變化較大的場所，因cp值和熱導率變化，測量值會有較大變化而產生誤差。

3.對小流量而言，儀表會給被測氣體帶來相當熱量。

4.對于熱分布式熱式氣體質量流量計，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定期清洗；對細管型儀表更有易堵塞的缺點，一般情況下不能使用。

5.對脈動流在使用上將受到限制。

6.液體用熱式氣體質量流量計對于粘性液體在使用上亦受到限制。